钙钛矿蒸镀装备
蒸镀生产线
产品特点
真空过渡分为1000Pa、1Pa、10-4Pa三级，异于10Pa、10-4Pa两级模式，最大优化罗茨泵在1000Pa~1Pa的抽气效率，降低装备低真空段的泵组设置，镌汰装备能耗节约本钱。
接纳低温泵在镀膜前举行样片运送时水汽的网络，抽气效率高，对装备园地湿度要求降低，镌汰生产建设投资。
线性源接纳一体化加热及� ？榛巅銎唇由杓�，坩埚个体尺寸小具有极小的热变形，坩埚位置可调理具有镀膜匀称性调理的作用。
手艺参数 | |
|---|---|
| 装备型号 | ZDX-300（600、1200） |
| 极限真空 | 8×10-5Pa |
| 腔室功效分类 | 进、出样室（1000Pa） |
| 低真空过渡室（1Pa） | |
| 高真空过渡室（5×10-4Pa） | |
| 蒸镀室（5×10-4Pa） | |
| 蒸起源类型 | 线性源：室温~700℃，水冷 |
| 蒸发距离 | 120~300mm |
手艺参数 | |
|---|---|
| 样品幅宽 | 300、600、1200mm |
| 常用蒸发质料 | C60、BCP、LiF、PbI2、CsBr、Cu等 |
| 镀膜节奏 | ≥60s |
| 一连运行时间 | ≥300h |
| ≥50h（C60、1A/s） | |
| 膜厚匀称性 | ≤±5% |
| 镀膜速率稳固性 | ≤±0.1A/s |
| 镀膜时样品温度 | ≤60℃ |
手艺优势 |
|---|
| 针对电子传输层（C60）蒸发镀膜装备 |
| 针对C60蒸发质料吸附氧、水汽对蒸镀稳固性的影响，在镀膜室举行预蒸发处置惩罚、深冷网络等处置惩罚，提高C60蒸镀温度稳固性，延伸一连镀膜时间。 |
| 线性源凭证C60特征，蒸发口接纳不遮挡方法，蒸发速率更快、镌汰冷凝载体面积、稳固性更好。 |
手艺优势 |
|---|
| 针对钙钛矿层共蒸发镀膜装备 |
| 兼容2-3源共蒸发 |
| 共蒸起源具有2种事情模式，同步混淆镀膜，分层交替镀膜，针对差别质料的物理特征具有更好的兼容性和共蒸发效果。 |
| 线性源mask具有多孔、狭缝、宽缝等多样化结构方法，针对差别质料的物理特征能够划分解决：样品降温、镌汰mask冷凝、蒸发效率调控、发散角调控等问题。 |
